Plasma Etching: An Introduction
暫譯: 等離子蝕刻：入門指南

Dennis M. Manos , Daniel L. Flamm

Plasma Etching: An Introduction
  • 出版商: Academic Press
  • 出版日期: 2016-01-02
  • 售價: $3,490
  • 貴賓價: 9.5 折 $3,316
  • 語言: 英文
  • 頁數: 490
  • ISBN: 0123959667
  • ISBN-13: 9780123959669
  • 相關分類: 電磁學 Electromagnetics

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