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商品描述
《半導體廠務項目工程管理》旨在系統介紹半導體廠務項目工程管理的理論與實踐，為集成電路生產領域的從業者、高校相關專業師生提供一套全面、實用的知識體系，並能深入理解半導體廠務項目工程管理的核心要素，掌握關鍵系統的設計、運行與維護技能，為半導體制造工廠的高效、穩定運行貢獻力量。 全書共7 個單元，具體內容為半導體廠務項目工程管理概述、高低壓電力系統和FMCS 的設計與運行維護、動力系統的設計與運行維護、排氣系統的設計與運行維護、潔凈室系統的設計與運行維護、氣化系統的設計與運行維護、純廢水系統的設計與運行維護。 本書註重理論與實踐相結合，既涵蓋了半導體廠務項目工程管理的理論知識，又提供了豐富的實際案例和操作指南，可作為集成電路生產領域的廠務工程師、運維工程師的學習參考用書，也可作為高職高專和應用型本科相關專業參考教材。
作者簡介
曉宇，2017年獲得華北電力大學電氣工程及其自動化專業工學學士學位；2022年獲得 地球物理研究所固體地球物理學專業理學博士學位。2023年3月進入蘇州工業職業技術學院集成電路與通信學院工作，主要研究方向為半導體廠務工程管理及地磁儀器傳感技術。第三批 職業教育教師創新團隊成員。主持校級教材建設項目1項。發表論文多篇，其中中文核心2篇，SCI收錄3篇。王棟，現任蘇州工業職業技術學院集成電路與通信學院院長、教授，主要研究方向為嵌入式人工智能技術。第三批 職業教育教師創新團隊主要成員、江蘇省高校“青藍工程”青年骨 ；曾獲得全國職業技能大賽一等獎2項、二等獎2項，江蘇省教學能力大賽一等獎2項；主持省部級課題10項、發表論文18篇，其中高水平論文6篇，授權實用新型專利10項，發明專利3項；獲得省教學成果獎二等獎、江蘇省十四五規劃教材等省級以上質量工程項目10余項；主持 中小企業發展促進中心專精特新產業學院、 教育考試中心電子信息產才融合公共實訓基地、江蘇省高水平專業群、江蘇省示範性虛擬仿真實訓基地等省部級平臺項目建設。戴麗華，博士，畢業於南京師範大學物理電子學專業。2013年入職蘇州工業職業技術學校，2017-2022年任應用電子技術專業帶頭人，2020-2023年任嵌入式技術應用專業帶頭人，2021年起任集成電路技術專業帶頭人，2023年任集成電路與通信學院副院長（掛職）。曾獲得江蘇省教學成果獎二等獎（排名4），蘇州市青年崗位能手，江蘇省高校“青藍工程” 青年骨 。主持江蘇省高等學校自然科學研究面上項目，省現代教育技術課題以及企業橫向課題8項。主編出版教材《實用電路分析與實踐》。在省級以上刊物上發表論文13篇，其中1篇SCI收錄，4篇EI收錄，中文核心2篇，授權發明專利2項，實用新型專利1項。
目錄大綱
前言
第1單元半導體廠務項目工程管理概述
項目1半導體廠務項目工程管理介紹
任務1.1半導體廠務系統概述
習題
第2單元高低壓電力系統和FMCS的設計與運行維護
項目2高低壓電力系統的組成
任務2.1高壓開關櫃
任務2.2緊急供電的作用與選擇
任務2.3電力設備的維護
任務2.4廠務接地系統
項目3FMCS
任務3.1FMCS網絡架構
任務3.2FMCS儀器選型
任務3.3FMCS子系統邏輯控制
習題
第3單元動力系統的設計與運行維護
項目4動力系統
任務4.1PCW系統
任務4.2工藝真空系統
任務4.3清掃真空系統
任務4.4冷熱源系統
習題
第4單元排氣系統的設計與運行維護
項目5排氣系統
任務5.1一般廢氣處理系統
任務5.2有機廢氣處理系統
任務5.3酸堿性廢氣處理系統
任務5.4毒性廢氣處理系統
習題
第5單元潔凈室系統的設計與運行維護
項目6潔凈室系統
任務6.1潔凈室系統介紹
任務6.2凈化風系統
任務6.3潔凈室環境檢測
習題
第6單元氣化系統的設計與運行維護
項目7氣體系統
任務7.1大宗氣體
任務7.2特種氣體
任務7.3氣櫃操作及故障排查
任務7.4GMS
任務7.5氣體系統應急處理流程
任務7.6氣體個人防護裝備
項目8化學品系統
任務8.1化學品種類
任務8.2化學品供應方式
任務8.3化學品應急處理流程
任務8.4化學品系統材質的選用
任務8.5化學品設備操作及故障排查
任務8.6化學品個人防護裝備
習題
第7單元純廢水系統的設計與運行維護
項目9純水系統
任務9.1純水系統的介紹
任務9.2超純水系統的運行維護
項目10廢水系統
任務10.1廢水的種類
任務10.2廢水處理系統
習題
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