光學薄膜技術（第4版）

第1章薄膜光學特性計算基礎
11引言
12單一界面的反射率和透射率
13單層介質膜的反射率
131單層介質膜與基底組合的等效光學導納
132單層介質膜的光學特性
14多層介質膜的反射率和透射率
15金屬薄膜的光學特性
16光學零件的反射率和透射率
17光學薄膜的色度表征與計算
171光學薄膜的透射率、反射率光譜與顏色
172CIE1931標準色度系統簡介
173薄膜顏色的色度學表征
思考題與習題
第2章介質膜系及其應用
21減反射膜
211單層減反射膜
212雙層減反射膜
213多層減反射膜
214高折射率基底的減反射膜
215含吸收層的防眩光減反射膜
22高反射膜
221周期性多層膜堆的反射率
222（LH）S周期性多層膜堆的高反射帶
223高反射帶的展寬
224傾斜入射時的高反射帶
225金屬反射膜
23中性分束膜
231介質中性分光鏡
232偏振中性分束棱鏡
233金屬中性分光鏡
24截止濾光片
241多層膜堆的通帶透射率
242通帶波紋的壓縮
243通帶的展寬和壓縮
244截止波長和截止帶中心的透射率
245截止濾光片傾斜使用時的偏振效應
246截止濾光片的應用
25帶通濾光片
251法布裏-珀羅濾光片特性
252全介質法布裏-珀羅濾光片
253誘導透射濾光片
254法布裏-珀羅濾光片的最新應用
255寬帶通濾光片
26偏振分束膜
261膠合棱鏡介質偏振分光膜
262平板介質偏振分光鏡
263金屬柵偏振分光鏡
27消偏振膜系
271單波長消偏振
272受抑全反射寬波段消偏振分光鏡
273金屬-介質組合膜堆寬波段消偏振
274消偏振截止濾光片
思考題與習題
第3章光學薄膜制造技術
31光學真空鍍膜機
32真空與物理氣相沈積
33真空獲得與檢測
331真空泵
332低溫冷凝泵
333PVD使用的高真空系統
334真空度的檢測
34熱蒸發
35濺射
351輝光放電濺射
352磁控濺射
353離子束濺射
354離子、靶材與濺射率
36離子鍍
37離子輔助鍍
38等離子體增強化學氣相沈積
381PECVD過程的動力學
382PECVD裝置
思考題與習題
第4章光學薄膜制造工藝
41光學薄膜器件的質量要素
42影響膜層質量的工藝要素
421影響薄膜器件質量的工藝要素及作用機理
422提高膜層機械強度的工藝途徑
423控制膜層折射率的主要工藝途徑
424獲得致密膜層的方法
43獲得精確厚度的方法
431目視法
432極值法
433定值法
434任意膜厚的單波長監控
435石英晶振法
436寬光譜膜厚監控
44獲得均勻膜層的方法
441影響膜層厚度均勻性的因素
442獲得均勻膜層厚度的途徑
思考題與習題
第5章薄膜材料及其性質
51薄膜的微觀結構與性質
511薄膜結構的材料學基礎
512薄膜的光學性質
513薄膜的力學性質
52常用光學薄膜材料
521金屬薄膜
522介質薄膜
523特殊材料
思考題與習題
第6章光學薄膜特性測試與分析
61光學薄膜特性的檢測標準
62薄膜透射率、反射率的測量
621光譜儀的基本原理
622薄膜透射率的測量
623薄膜反射率的測量
63薄膜光學常數和厚度的測量
631光度法確定薄膜的光學常數
632橢圓偏振法確定薄膜的光學常數
633薄膜厚度的測量
64薄膜吸收和散射的測量
641薄膜吸收損耗的測量
642薄膜散射損耗的測量
65薄膜非光學特性的檢測
651薄膜附著力的測量
652薄膜應力的測量
653薄膜的環境試驗
654薄膜結構和化學成分檢測
思考題與習題
第7章高能激光薄膜
71光學薄膜的激光損傷閾值
711概述
712激光損傷閾值
713激光損傷閾值涉及的幾個問題
72介質薄膜激光損傷理論
721激光輻照的兩種主要效應
722光學薄膜激光損傷機制
723影響光學薄膜激光損傷閾值的因素
73提高薄膜激光損傷閾值的方法
731制備前的措施和方法
732制備中的措施和方法
733制備後的措施和方法
思考題與習題
第8章功能薄膜及其應用
81透明導電薄膜
811透明導電薄膜的分類
812透明導電薄膜的基本特性
813透明導電氧化物薄膜的制備
814透明導電氧化物薄膜的特性測試
815透明導電氧化物薄膜的應用
82太陽能薄膜
821太陽能光熱轉換薄膜
822太陽能光電轉換薄膜
83超硬薄膜材料
831金剛石薄膜
832類金剛石（DLC）薄膜
833立方氮化硼薄膜
834CNx薄膜
835其他硬質薄膜
84相位膜
841屋脊棱鏡的偏振像差
842矯正偏振像差的相位膜
843屋脊棱鏡偏振像差的表征與檢測
思考題與習題
附錄A常見薄膜材料參數
參考文獻