微系統設計導論(第2版)

[德] 沃納·卡爾·施默博格(Werner Karl Schomburg) 著, 董瑛 等 譯

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商品描述

《微系統設計導論(第2版)》系統介紹組成微系統的基本微結構、功能單元和典型器件的設計,包括薄層、彈性元件(如膜片、微梁)、應變和位移的檢測單元、電阻和電容的測量電路、靜電驅動力、壓電效應、毛細管力、微流體控制單元、微傳感器、微執行器等,並附大量的設計計算練習題。