積體電路製程技術

內容簡介：

本書講述積體電路製造程序中所使用的各種技術，包括物理及化學氣相沉積、微影、養化、蝕刻、摻雜等製程的基本原理·本書中包含大量的圖形及表格使讀者得以對積體電路製程獲得具體的瞭解，適合作為大學、技術學院相關課程的教材。