微機電系統工程 (An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering)

李世鴻

  • 出版商: 五南
  • 出版日期: 2003-06-06
  • 定價: $370
  • 售價: 9.0$333
  • 語言: 繁體中文
  • 頁數: 318
  • ISBN: 9571132322
  • ISBN-13: 9789571132327

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本書簡介:

本書作者 Nadim Maluf 在史丹福大學博士班期間即致力於微機電系統的研究,之後更在產業界從事微機電系統 (MEMS) 產品的開發與商品化的工作,有十餘年的研究及實務經驗,對於 MEMS 的設計與製造有精闢的見解。  本書介紹關於微機電系統的材料、製程工具、現有的產品結構、未來發展方向及封裝等方面的基本認識,並著重於 MEMS 的設計觀念以及相關的製造技術。  本書適用於大專、技術學院、大學之電機、機械、工業工程與系統、應用物理系的師生和業界工程技術人員參考使用。

主要章目:

第一章 MEMS:來自小人國的技術
第二章 沙箱:MEMS的材料
第三章 工具箱:微加工的製程
第四章 齒輪箱:商品化的MEM結構及系統
第五章 新齒輪箱:窺視未來
第六章 包裝箱:MEMS的封裝