真空技術精華

蘇青森

  • 出版商: 五南
  • 出版日期: 2011-10-04
  • 定價: $340
  • 售價: 9.0$306
  • 語言: 繁體中文
  • 頁數: 260
  • ISBN: 9571134783
  • ISBN-13: 9789571134789

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商品描述

<內容簡介>

本書分為七章,內容由淺入深包括重要的氣體理論、應用真空的基本原理、真空中氣體的性質及真空中的氣流形態、真空範圍的區分、真空技術應用的範圍等。抽真空的方法有各類幫浦的介紹包括原理、構造、操作及應用等。真空量測包含介紹各類真空計及其校正、真空的基本量,如抽氣速率、氣流通量及氣導的測定、真空系統計算包括管路氣導、薄壁上孔道的氣導、有效抽氣速率、抽氣速率損失、氣體分子的平均自由動徑、氣體分子撞擊率及單分子層附著時間等的計算。真空系統的測漏包括測漏儀、找漏孔及堵漏、真空系統的污染包括防止及消除污染的方法、系統烘烤對真空度的影響。此外並介紹常用的真空製程、高科技真空製程及鍍膜技術。
  本書可使入門者循序漸進的學習,亦可作為熟悉真空科技者有系統復習的參考資料。本書可供真空技術課程的用書,及從事與真空相關的科技人員的參考書。


<章節目錄>

Chapter 1 真空的基本觀念
  1.1 從歷史發展認識真空
  1.2 絕對真空與真空的定義
  1.3 真空壓力與真空度
  1.4 自然界的真空
  1.5 真空技術的基本量
  1.6 真空系統的特徵
  1.7 真空應用
Chapter 2 真空中的氣體與氣流
  2.1 氣體與真空壓力
  2.2 部分壓力與總壓力
  2.3 真空中的氣流形態
  2.4 真空區分
  2.5 真空有關的氣體理讑
Chapter 3 產生真空的方法
  3.1 真空幫浦
  3.2 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦
  3.3 高真空到超高真空抽氣用的幫浦
  3.4 抽真空系統的幫浦組合
Chapter 4 真空量測
  4.1 真空量測的基本量
  4.2 真空中氣體的壓力
  4.3 粗略到中度真空範圍用的真空計
  4.4 高真空及超高真空範圍用的真空計
  4.5 部分壓力分析儀
  4.6 真空計的校正
  4.7 抽氣速率的測定
  4.8 氣流通量的測定
  4.9 氣導的測定
Chapter 5 真空系統與計算
  5.1 真空系統
  5.2 真空系統管路氣導的計算
  5.3 管路氣導的計算公式
  5.4 薄壁上孔道的氣導
  5.5 管路中空氣以外其他氣體的氣體
  5.6 真空系統有效抽氣速率
  5.7 抽氣速率損失
  5.8 氣體分子的平均自由動徑
  5.9 氣體分子間平均碰衝率
  5.10 單分子層附著時間
Chapter 6 測漏技術與清潔方法
  6.1 真空系統的漏氣
  6.2 找漏與堵漏
  6.3 真空系統的污染
  6.4 清潔的方法
  6.5 真空系統烘烤
Chapter 7 真空製程
  7.1 常用的真空製程
  7.2 高科技真空製程
  7.3 鍍膜技術簡介