電子材料
張勁燕
- 出版商: 五南
- 出版日期: 2004-05-19
- 定價: $500
- 售價: 9.0 折 $450
- 語言: 繁體中文
- ISBN: 9571136107
- ISBN-13: 9789571136103
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商品描述
本書具有下列四個特色：
電子材料包括範圍很廣，材料結構、材料物理或化學、半導體、超導體、液晶顯示器、薄膜電晶體、積體光學、全像術、微機電、醫工、感測器等等·本書專注半導體一個領域。重點在製造半導體元件所用的各種材料；長晶材料、晶圓製程材料、製程用材料、機器設備用材料、無塵室和廠務設施用材料、封裝材料等，本書均有詳盡的敘述。
編著者十幾年來一直在從事半導體相關的教學、收集了不少寶貴的資料。以將近一年的時間編著了這本電子材料，祈望能給想從事半導體製造的同學們一項內容豐富、有力的教科書，業界工程師、研究生、教授老師們一項便捷的參考。
目錄：
第一章 矽和化合物半導體
第二章 微影照像用材料
第三章 摻質材料
第四章 介電質材料
第五章 清洗材料
第六章 蝕刻材料
第七章 金屬製程和材料
第八章 無塵室用材料
第九章 純水處理材料
第十章 廢水廢氣處理用材料
第十一章 封裝和材料
第十二章 厚膜和混成電路用材料
第十三章 奈料材料
