超精密加工技術

高道鋼

  • 出版商: 全華
  • 出版日期: 2000-06-30
  • 定價: $250
  • 售價: 9.5$238
  • 貴賓價: 9.0$225
  • 語言: 繁體中文
  • ISBN: 9572129333
  • ISBN-13: 9789572129333

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產品描述


■ 內容簡介
「超精密加工」是為了追求更精密的精度,在新製品中以特定元件的專用工作機械,來集合技術精華而開發出來的。本書內容涵蓋現今所有高科技領域,包含超精密加工機械、切削、研磨、拋光、微影成像、蝕刻技術及高精密透鏡等。為目前政府推動高科技尖端工業不可或缺的工具書。本書適合機械科系之大專院校、研究所及相關產業之從業人員使用。

■ 目錄
ch01 超精密加工的必要性
1-1 前言
1-2 奈米技術
1-3 超精密加工的用途
1-4 超精密工法
ch02 超精密加工機械
2-1 前言
2-2 超精密加工之設計
2-3 迴轉要素
2-4 直線運動要素
2-5 定位控制
2-6 機體構造
2-7 環境
ch03 超精密切削
3-1前言
3-2 超精密切削面的形狀
3-3 切削工具
3-4 利用單精鑽石
3-5 鐵系材料切削
3-6 超精密鑽石切削的應用例
3-7 大輸出CO2雷射用反射透鏡
3-8 具微細溝槽的柵狀透鏡
3-9 結語
ch04 超精密研磨
4-1 特殊半導體基板的高精度研磨法
4-2 精密陶瓷之鏡面研磨
ch05 超精密拋光
5-1 前言
5-2 拋光加工的力學作用
5-3 拋光加工的化學作用
5-4 乾式超精密拋光
5-5 結語
ch06 微影成像及蝕刻
6-1 微影成像
6-2 蝕刻技術
ch07 高精度塑膠透鏡
7-1 前言
7-2 高精度塑膠製品的現狀
7-3 高精度塑膠透鏡的要素技術
7-4 高精度塑膠透鏡的品質管制
7-5 高精度塑膠透鏡的未來展望