VLSI 設計與製造入門

趙中興

  • 出版商: 全華圖書
  • 出版日期: 2001-12-30
  • 定價: $280
  • 售價: 9.0$252
  • 語言: 繁體中文
  • ISBN: 9572140531
  • ISBN-13: 9789572140536
  • 相關分類: VLSI

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商品描述


■ 內容簡介
完整但淺顯的介紹是本書的特色之一,內容針對VLSI電路設計與半導
體製程有詳盡介紹,並佐以圖和照片說明,更加容易貫通理解。讀完
本書後,對於日本半導體製造技術,將會有更深入的體會和見解。


■ 目錄
第1章 何謂VLSI,IC? 1-1
1-1積體電路的種類、功能及優點1-3
1-1-1積體電路IC的種類與功能1-3
1-1-2 積體電路IC的優點1-5
1-2 積體電路的開發流程1-14
1-2-1 積體電路設計的開發1-14
1-2-2 半導體製程1-23
1-3 積體電路的種類與構造1-24
第2章 VLSI的基本元件與特性2-1
2-1 二極體2-1
2-1-1 pn接面二極體2-2
2-1-2 二極體在偏壓下的電壓/電流特性2-4
2-1-3 少量載子的累積效應2-6
2-1-4 蕭特基二極體(Schottky diode)2-7
2-2 雙極性電晶體2-8
2-2-1雙極性電晶體的基本特性2-10
2-2-2 雙極性電晶體的工作原理與等效電路2-14
2-3 MOS電晶體2-19
2-3-1 MOS電晶體的基本構造,符號及基本特性2-20
2-3-2 MOS電晶體的工作特性2-24
2-3-3 MOS電晶體的工作原理與通道的關係2-26
2-3-4 MOS電晶體的等效電路2-28
2-3-5 MOS電晶體的基本特性與微細化2-31
2-4 電容2-35
2-5 電阻2-37
第3章 VLSI積體電路與基本特性3-1
3-1 數位邏輯電路的基本特性3-1
3-1-1 積體電路的直流特性(輸出/輸入電壓的傳遞特性)3-2
3-1-2 扇入,輸入端數(fan in m);
扇出,輸出端數(fan out n)3-4
3-1-3 信號傳遞的時間延遲特性3-5
3-1-4 消費電力的特性3-7
3-2 雙極性電晶體IC的基本邏輯電路3-8
3-2-1 飽和型邏輯電路3-10
3-2-2 非飽和型邏輯電路3-17
3-3 MOS IC的基本邏輯電路3-20
3-3-1 阻抗負載型MOS電晶體之反相器電路3-20
3-3-2 E/D反相器邏輯電路3-22
3-3-3 clock nMOS 邏輯電路3-28
3-4 CMOS電晶體的基本邏輯電路3-30
3-5 MOS IC的邏輯電路3-38
3-5-1 組合邏輯電路3-39
3-5-2 時序邏輯電路3-43
3-5-3 其他的邏輯電路3-47
3-6 Bi-CMOS IC的基本邏輯電路3-52
第4章 VLSI的記憶體與特性4-1
4-1 VLSI記憶體的基本結構4-2
4-2 MOS 動態隨機存取記憶體(DRAM)4-3
4-3 MOS靜態隨機存取記憶體(SRAM)4-6
4-4 唯讀專用記憶體(ROM)4-8
4-4-1 罩幕式唯讀專用記憶體(mask ROM)4-9
4-4-2 P-ROM與EP-ROM4-13
4-4-3 EP-ROM與flash EP-ROM4-16
第5章 VLSI的設計5-1
5-1 原始光罩的電路圖案設計(mask pattern design)5-1
5-2 CMOS電晶體積體電路的圖案設計5-13
5-3 VLSI電腦輔助設計的支援技術5-15
5-4 VLSI的自動化程式設計
(electrical design automation)5-17
第6章 VLSI的製造與半導體製程6-1
6-1 VLSI的製造技術6-1
6-1-1 微影光刻製程(photo engraving process,簡稱PEP)6-1
6-1-2 雙極性電晶體IC的半導體製程6-4
6-1-3 MOS IC的半導體製程6-6
6-2 VLSI的基本製程(unit process)6-12
6-2-1 單晶矽晶圓的製造6-13
6-2-2 p型半導體層,n型半導體層的形成6-19
6-2-3 絕緣薄膜的形成6-34
6-2-4 多晶矽薄膜6-43
6-2-5 金屬薄膜6-44
6-2-6 蝕刻加工(etching)6-47
第7章 微影光刻印刷技術與VLSI電路設計7-1
7-1 微影光刻製程7-1
7-2 積體電路圖案的轉印(pattern transfer)7-2
7-2-1 直接曝光轉印7-4
7-2-2 間接投影曝光轉印7-7
7-3 電路的描繪與光罩的製作7-13
7-3-1 光罩的電路圖案設計7-14
7-3-2 光罩製作技術7-17
7-3-3 光罩的材料與種類7-24