超微細電子元件加工技術

卓聖鵬

  • 出版商: 全華
  • 出版日期: 2001-12-30
  • 定價: $350
  • 售價: 9.0$315
  • 語言: 繁體中文
  • ISBN: 9572141104
  • ISBN-13: 9789572141106

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商品描述


■ 內容簡介
隨著現代科技之進步,傳統之電子元件之加工技術已不能滿足時代之
人類不斷追求產品之『輕、薄、短、小化』,更促使超微細電子元件
發展。
本書係一本入門書,其內容包含目前所有超微細電子元件之加工技術
結晶和玻璃基板之製造、微影技術(轉寫)、曝光、蝕刻、摻雜(熱擴?BR>)、薄膜之基本性質和薄膜製作法之概要、氣相成長法、CVD法、外延
鍍和離子鍍敷、濺鍍、精密電鍍及平坦化技術等,其內容包含如何製
何形成薄膜,如何利用微影技術將超微細之圖案轉寫在基板上,如何
晶),如何鍍膜(蒸鍍、濺鍍等),如何蝕刻(除去抗蝕劑),如何平坦?BR>加以介紹,讓初學之讀者能進一步瞭解超微細電子元件加工技術之全
更深入之專業發展,故本書不僅適合初學者,對超微細電子元件加工
者,可以一覽其他加工之技術,全盤瞭解前後之加工程序,進而掌握
更精緻之電子元件。
本書係根據「超微細電子元件加工技術」一書編譯而成,內容新穎,
介紹超微細電子元件加工技術。由於編譯倉促,立意雖宏,疏漏之處
吝指教。
卓聖鵬