DLC 成膜技術

陳克紹

  • 出版商: 全華圖書
  • 出版日期: 2005-09-16
  • 定價: $280
  • 售價: 9.0$252
  • 語言: 繁體中文
  • ISBN: 9572149911
  • ISBN-13: 9789572149911
  • 已絕版

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商品描述

本書特色

1.由日本的二位學者及十位產業界專家共同執筆,整合學界理論與產業技術。
2.提供產業開發經驗,以利讀者在研發與製造領域上之應用。
3.介紹滑動機件、刀具、模具等應用及新成膜技術,有別於一般專業書籍。
4.本書適合大專院校之機械、材料相關科系及相關技術人員參考使用。
 

本書內容

本書由日本學界與產業界共同合作編著而成並結合理論與實務。內容詳盡地介紹DLC膜基礎理論及在各領域上之應用,並對於金屬表面因鍍膜產生的特性逐一解釋,使讀者能瞭解DLC膜應用在金屬表面或其他滑動機件、刀具、模具是如何改善其機械特性。文中也引用了多個產業上應用的例子,完善地提供讀者DLC成膜技術在工業上應用的資訊。

本書目錄

第1篇 DLC成膜技術是什麼?
第1章 什麼是DLC膜1-1
1.1 DLC膜1-1
1.2 利用電漿(Plasma)能源的表面改質法及其市場動向1-3

第2章 DLC膜的特性2-1
2.1 DLC的特性2-1
2.2 期待的超低摩擦低磨耗DLC皮膜  DLC皮膜
 的摩擦係數可以降到哪裏?2-9
2.3 DLC成膜法2-10

第3章 DLC成膜技術的工業應用與開發課題3-1
3.1 工業應用3-1
3.2 含DLC膜的複合表面改質技術3-2
3.3 為何要複合表面改質?3-5
3.4 今後的開發課題3-8
第2篇 使用DLC的應用事例
第4章 利用UBM濺鍍法製DLC膜的特性及其應用4-1
4.1 前 言4-1
4.2 UBM濺鍍法的原理與特長4-2
4.2.1 濺鍍法的概要4-2
4.2.2 UBM濺鍍法是什麼?4-2
4.3 利用UBM濺鍍裝置形成皮膜4-5
4.4 以UBM濺鍍法製DLC膜的特性及應用4-6
4.4.1 DLC膜的種類及性質4-6
4.4.2 以UBM濺鍍法製DLC膜4-7
4.4.3 DLC膜的應用4-13
4.5 結 語4-15

第5章 硬質DLC,金屬DLC,奈米碳的特徵與應用5-1
5.1 前 言5-1
5.2 DLC膜的特性5-1
5.2.1 表面形態(平滑性)與表面粗糙度5-2
5.2.2 乾式潤滑特性5-3
5.3 DLC膜的成膜方法5-4
5.3.1 硬質DLC的製法與特徵5-5
5.3.2 硬質DLC膜的模具應用5-6
5.3.3 硬質DLC膜在模具的應用5-8
5.4 金屬DLC的製法及特徵5-9
5.4.1 鎂(Mg)合金板的深抽引加工5-11
5.5 奈米碳的特徵5-13
5.6 各種DLC膜在摺動零件的應用例5-16
5.7 結 語5-17

第6章 含金屬DLC(Me-DLC)的工業應用6-1
6.1 Me-DLC6-1
6.2 Me-DLC成膜方法6-1
6.3 皮膜構造6-2
6.4 皮膜的基本性質6-3
6.5 在滑動零件的適用性6-6
6.6 加工工程6-6
6.7 應用事例6-8
6.7.1 降低傳動損失6-8
6.7.2 高壓壓縮機6-8
6.7.3 纖維切斷刀、葉片類6-9
6.7.4 對鋁滑動零件6-9
6.8 今後的問題點6-9

第7章 利用UBMS法製DLC膜的特性與用途開展7-1
7.1 前 言7-1
7.2 DLC膜的基本特性7-2
7.3 複合製程7-7
7.4 機械零組件的應用7-9
7.5 切削刀具的應用7-11
7.6 在模具的應用7-13
7.7 DLC膜的再生系統7-15
7.8 整 理7-18

第8章 在精密機械零組件中DLC膜的應用事例8-1
8.1 Citizen的DLC概要8-1
8.1.1 乾式製程的歷史8-1
8.1.2 代工鍍膜服務概要8-2
8.1.3 宣傳活動8-2
8.1.4 DLC的代表性特徵8-3
8.1.5 鍍膜規格8-3
8.1.6 附著性的評估8-4
8.1.7 成膜設備8-5
8.2 應用例8-7

第9章 可撓性DLC膜在高分子材料的應用9-1
9.1 前 言9-1
9.2 DLC的特徵9-1
9.3 DLC膜的用途開發9-4
9.4 可撓性DLC在高分子材料的適應9-5
9.5 成膜設備及處理方法9-6
9.6 評估項目及方法9-6
9.7 實驗結果9-7
9.7.1 成膜速率9-7
9.7.2 摩擦係數9-7
9.7.3 磨耗特性9-9
9.7.4 電阻特性9-10
9.7.5 撥水性9-10
9.7.6 膜硬度9-10
9.7.7 膜的表面.截面形態9-10
9.7.8 氣體阻絕性9-11
9.7.9 製品例9-12
9.8 整 理9-13

第10章 厚膜DLC的鍍膜技術10-1
10.1 前 言10-1
10.2 設備的原理與構造10-2
10.2.1 PIG-PECVD設備的構造10-2
10.2.2 電漿的安定化10-3
10.2.3 基板的偏壓方法10-7
10.2.4 DLC(Si)的鍍膜變數10-8
10.3 DLC的厚膜鍍膜技術10-10
10.3.1 成膜方法10-10
10.3.2 附著性10-13
10.3.3 添加矽的效應10-15
10.4 乾潤滑特性10-17
10.5 內面鍍膜10-19
10.6 DLC的剝離再生技術10-21
10.7 整 理10-23

第11章 利用電漿離子植入、成膜技術之DLC鍍膜11-1
11.1 前 言11-1
11.2 關於電漿離子植入技術11-2
11.3 RF.高電壓脈衝重疊式電漿離子植入.成膜法11-3
11.4 DLC膜的成膜秘訣與特性11-5
11.5 成長膜實例11-7
11.6 結 論11-9

第12章 電漿PVD、ArcIonPlating複合DLC成膜技術12-1
12.1 前 言12-1
12.2 複合表面處理的重要性12-2
12.2.1 基材的強化12-2
12.2.2 密合性改善12-2
12.2.3 皮膜特性的改善12-3
12.3 本研究所的PlasmaPVD.ArcIonPlating
 複合薄膜設備概要12-3
12.4 利用此裝置製複合DLC膜例12-5
12.5 複合DLC成膜技術今後的發展12-7