圖解半導體製造裝置

菊地正典

  • 出版商: 世茂出版社
  • 出版日期: 2008-09-25
  • 定價: $300
  • 售價: 9.0$270
  • 貴賓價: 8.5$255
  • 語言: 繁體中文
  • 頁數: 183
  • ISBN: 9577769403
  • ISBN-13: 9789577769404

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商品描述

<內容簡介>

本書針對製造半導體的主要裝置詳盡解說。介紹半導體所有製程及與使用裝置的關係,並深入了解裝置的構造、動作原理及性能,輔以圖解進行細部分析,建立系統化知識。

你我日常生活離不開的電腦、手機等電子產品,它們具備的智慧型功能要靠半導體才得以完成,因此半導體是資訊化社會不可或缺的核心要素。本書即針對半導體如何製造的具體內容來說明,從實踐的觀點專業分析半導體製造的整體架構,著重在半導體的所有製程與具代表性製造裝置。