微光機電系統設計與模擬

蔡健中

  • 出版商: GL高立
  • 出版日期: 2005-06-30
  • 定價: $280
  • 售價: $280
  • 貴賓價: 9.5$266
  • 語言: 繁體中文
  • ISBN: 9864122681
  • ISBN-13: 9789864122684

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商品描述

  本書特色

本書特色是以漸進式學習,及淺顯易懂的文字介紹微光機電系統的設計,模擬流程及其應用,並為使部份沒有微光機電及半導體製程背景的初學者,能迅速的進入微光機電領域,特在書中以「熱致動器」為例,提出完整的設計與其模擬流程。本書亦有詳盡的例題說明及最實用的設計知識,配合作者的操作經驗,期許初學者研讀完本書後,能夠自行設計及模擬微光機電元件。

易入門-縱使讀者沒有學過如何繪製光罩,可以藉由本書得到繪製光罩的基礎知識,而對已有的繪製光罩的讀者,更能藉由本書體驗設計微光機電元件的樂趣。

一舉數得-本書是使用商用軟體Tanner EDA及IntelliSuite, 除能使初學者有微光機電的基礎知識外,更能擁有繪製光罩及模擬微光機電元件性能的技巧,達到獨立設計及模擬微元件的能力。

教學、自修兩相宜-本書中的範例,作者皆有詳細說明及示範操作的流程,無論是有無經驗者,都可以輕鬆完成整個設計的流程,是老師授課與同學自修時,最佳的參考書籍。

輕鬆完成微光機電元件設計-本書內容主要含有一份微光機電元件-熱致動器完整的光罩,繪製及模擬流程,本書在編排上即以該元件為導向,來安排章節與元件的解說,所以讀者只要循序本書的章節來學習,在完成本書的學習後,讀者可有能力使用商用軟體Tanner EDA及IntelliSuite來設計與模擬讀者自己感興趣的微光機電元件。

 

本書內容

  • 第一章    L-EDIT 導論

  • 第二章    基本功能說明

  • 第三章 環境設定

  • 第四章 建立 Layers 圖層

  • 第五章 繪製光罩

  • 第六章 建立製程檔

  • 第七章 繪圖範例

  • 第八章    Verification ( 驗證 ) 工具

  • 第九章    DRC 範例

  • 第十章 IntelliSuite 介紹

  • 第十一章    如何啟動 IntelliFab 軟體

  • 第十二章    顯示欄中的各種指令介紹

  • 第十三章    下拉式功能表 (Pulldown menus)

  • 第十四章    建立一個製程範例