微光機電系統設計與模擬

  本書特色

本書特色是以漸進式學習，及淺顯易懂的文字介紹微光機電系統的設計，模擬流程及其應用，並為使部份沒有微光機電及半導體製程背景的初學者，能迅速的進入微光機電領域，特在書中以「熱致動器」為例，提出完整的設計與其模擬流程。本書亦有詳盡的例題說明及最實用的設計知識，配合作者的操作經驗，期許初學者研讀完本書後，能夠自行設計及模擬微光機電元件。

易入門-縱使讀者沒有學過如何繪製光罩，可以藉由本書得到繪製光罩的基礎知識，而對已有的繪製光罩的讀者，更能藉由本書體驗設計微光機電元件的樂趣。

一舉數得-本書是使用商用軟體Tanner EDA及IntelliSuite, 除能使初學者有微光機電的基礎知識外，更能擁有繪製光罩及模擬微光機電元件性能的技巧，達到獨立設計及模擬微元件的能力。

教學、自修兩相宜-本書中的範例，作者皆有詳細說明及示範操作的流程，無論是有無經驗者，都可以輕鬆完成整個設計的流程，是老師授課與同學自修時，最佳的參考書籍。

輕鬆完成微光機電元件設計-本書內容主要含有一份微光機電元件－熱致動器完整的光罩，繪製及模擬流程，本書在編排上即以該元件為導向，來安排章節與元件的解說，所以讀者只要循序本書的章節來學習，在完成本書的學習後，讀者可有能力使用商用軟體Tanner EDA及IntelliSuite來設計與模擬讀者自己感興趣的微光機電元件。

 

本書內容

• 第一章    L-EDIT 導論

• 第二章    基本功能說明

• 第三章　環境設定

• 第四章　建立 Layers 圖層

• 第五章　繪製光罩

• 第六章　建立製程檔

• 第七章　繪圖範例

• 第八章    Verification ( 驗證 ) 工具

• 第九章    DRC 範例

• 第十章　IntelliSuite 介紹

• 第十一章    如何啟動 IntelliFab 軟體

• 第十二章    顯示欄中的各種指令介紹

• 第十三章    下拉式功能表 (Pulldown menus)

• 第十四章    建立一個製程範例