微機電系統原理與應用 (Liu : Foundations of MEMS)
李彥其
- 出版商: GL高立
- 出版日期: 2008-01-09
- 售價: $780
- 貴賓價: 9.5 折 $741
- 語言: 繁體中文
- 頁數: 624
- ISBN: 9864125435
- ISBN-13: 9789864125432
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商品描述
<本書特色>
本教科書有四個主要的目的：
獲得傳感器 ( 包含感測器與致動器 ) 相關的關鍵跨領域知識。讀者必須可以分析簡單的機電元件的主要性能，以及了解關於特殊設計工作的選擇與挑戰。
使讀者獲得充實的微製造技術之背景知識，以使得不具 MEMS 相關背景的讀者也可以瞭解傳統 MEMS 製程，以及許多新的應用新開發之 MEMS 製程。
透過許多典型實例之研讀，使讀者對於 MEMS 一般的實務設計與製造流程有經驗。
獲得分析與實務上的知識以評估設計、製造、性能、強健性與價格之間的關聯點，進而成功地開發積體化的 MEMS 元件。
<目錄>
第一章 簡 介
第二章 微製造導論
第三章 基本電學與機械相關概念的回顧
第四章 靜電感測與致動
第五章 熱感測與熱致動
第六章 壓阻式感測器
第七章 壓電感測與致動原理
第八章 磁性致動器
第九章 感測器和致動器的總結
第十章 體型微機械加工以及矽之非等向性蝕刻
第十一章 面型微加工技術
第十二章 高分子聚合物材料的微機電技術
第十三章 微流體元件的應用
第十四章 掃描式探針顯微儀器
第十五章 光學微機電系統
第十六章 微機電系統技術的管理
附錄 A 材料特性
附錄 B 橫樑與薄膜常用的公式
英中文索引
