微機電系統原理與應用 (Liu : Foundations of MEMS)

李彥其

  • 出版商: GL高立
  • 出版日期: 2008-01-09
  • 定價: $780
  • 售價: $780
  • 貴賓價: 9.5$741
  • 語言: 繁體中文
  • 頁數: 624
  • ISBN: 9864125435
  • ISBN-13: 9789864125432

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商品描述

<本書特色>

本教科書有四個主要的目的:

  1. 獲得傳感器 ( 包含感測器與致動器 ) 相關的關鍵跨領域知識。讀者必須可以分析簡單的機電元件的主要性能,以及了解關於特殊設計工作的選擇與挑戰。

  2. 使讀者獲得充實的微製造技術之背景知識,以使得不具 MEMS 相關背景的讀者也可以瞭解傳統 MEMS 製程,以及許多新的應用新開發之 MEMS 製程。

  3. 透過許多典型實例之研讀,使讀者對於 MEMS 一般的實務設計與製造流程有經驗。

  4. 獲得分析與實務上的知識以評估設計、製造、性能、強健性與價格之間的關聯點,進而成功地開發積體化的 MEMS 元件。

<目錄>

  • 第一章    簡 介

  • 第二章    微製造導論

  • 第三章    基本電學與機械相關概念的回顧

  • 第四章    靜電感測與致動

  • 第五章    熱感測與熱致動

  • 第六章 壓阻式感測器

  • 第七章 壓電感測與致動原理

  • 第八章 磁性致動器

  • 第九章 感測器和致動器的總結

  • 第十章 體型微機械加工以及矽之非等向性蝕刻

  • 第十一章 面型微加工技術

  • 第十二章 高分子聚合物材料的微機電技術

  • 第十三章 微流體元件的應用

  • 第十四章 掃描式探針顯微儀器

  • 第十五章 光學微機電系統

  • 第十六章 微機電系統技術的管理

  • 附錄 A 材料特性

  • 附錄 B 橫樑與薄膜常用的公式

  • 英中文索引