<本書特色>

本教科書有四個主要的目的：

1. 獲得傳感器 ( 包含感測器與致動器 ) 相關的關鍵跨領域知識。讀者必須可以分析簡單的機電元件的主要性能，以及了解關於特殊設計工作的選擇與挑戰。

2. 使讀者獲得充實的微製造技術之背景知識，以使得不具 MEMS 相關背景的讀者也可以瞭解傳統 MEMS 製程，以及許多新的應用新開發之 MEMS 製程。

3. 透過許多典型實例之研讀，使讀者對於 MEMS 一般的實務設計與製造流程有經驗。

4. 獲得分析與實務上的知識以評估設計、製造、性能、強健性與價格之間的關聯點，進而成功地開發積體化的 MEMS 元件。

<目錄>

• 第一章    簡　介

• 第二章    微製造導論

• 第三章    基本電學與機械相關概念的回顧

• 第四章    靜電感測與致動

• 第五章    熱感測與熱致動

• 第六章　壓阻式感測器

• 第七章　壓電感測與致動原理

• 第八章　磁性致動器

• 第九章　感測器和致動器的總結

• 第十章　體型微機械加工以及矽之非等向性蝕刻

• 第十一章　面型微加工技術

• 第十二章　高分子聚合物材料的微機電技術

• 第十三章　微流體元件的應用

• 第十四章　掃描式探針顯微儀器

• 第十五章　光學微機電系統

• 第十六章　微機電系統技術的管理

• 附錄 A　材料特性

• 附錄 B　橫樑與薄膜常用的公式

• 英中文索引