圖解真空技術入門

<內容簡介>

1.油回轉幫浦
2.粗抽幫浦的排氣時間
3-2 增強粗抽能力的幫浦
3-3 油擴散幫浦
1.理想排氣速度及Ho氏係數
2.排氣機制的原理
3.實用的油擴散幫浦
4.油擴散幫浦的崩潰
5.油擴散幫浦的排氣速度曲線(S-P曲線)
3-4 渦輪分子幫浦
1.排氣機制的原理
2.排氣速度
3.渦輪分子幫浦的壓縮比
3-5 排氣系統的組合
1.綜合排氣特性
2.動態高真空排氣系統

第四章 真空的量測
4-1 量測從大氣壓到低真空領域的真空計
1.水銀壓力計
2.機械式壓力計
3.馬克勞真空計
4-2 低真空領域的實用真空計
1.將微小的變化量轉換成電子訊號並擴張其量測下限的隔膜真空計
2.利用分子熱傳導的真空計
3.旋轉轉子真空計1)
4-3 離子化真空計
1.三極管型熱陰極離子化真空計
2.貝寧真空計
4-4真空計的安裝方法

第五章 真空系統的組成零件
5-1 法蘭及襯墊
1.高真空法蘭
2.彈性襯墊
3.金屬襯墊法蘭
5-2真空閥
1.高真空用L型閥
2.高真空用閘閥
3.超高真空用VITON密封閥
4.超高真空用全金屬製可烘烤密封閥
5-3真空端子
1.彈性密封電流導入端子
2.金屬襯墊密封電流導入端子
3.彈性密封液體導入端子
4.超高真空用液體導入端子與連接頭
5.彈性軸心密封回轉導入端子
6.超高真空用回轉導入端子
7.超高真空用直線導入端子

第六章 測漏技術
6-1 分辨漏氣及氣體放出的方法
6-2易漏部份
6-3確實地測漏
1.吊袋法(hood method)
2.探測法(probe method)
6-4 氦氣測漏儀
1.氦氣測漏儀與標準漏氣
2.漏氣檢測的時效常數
3.找到漏氣來源之後
6-5 藉由質量分析儀來監控真空的品質

第七章 超高真空與潔淨的真空
7-1 高真空及超高真空在質上的差異
7-2產生超高真空
1. 濺鍍離子幫浦及鈦吸附幫浦
2. 機械式冷凝幫浦
7-3量測真空
1. 真空管型離子真空計的軟X光下限
2. 反向思考的B-A閥
7-4 放出氣體的特性
1. 不?袗?的放出氣體特性
2.烘烤及彈性體
3.陶瓷
4.烘烤及放出氣體的減量理論模型
7-5 超高度真空系統下的特殊構成零件
1.觀察窗口
2.超高真空系統的潤滑
7-6 到底何謂潔淨的真空?

第八章 真空工業的發展
8-1 真空技術之樹
8-2 先進的成膜加工之例

附錄 I 馬克士威分布法則
1.壓力
2.速度分佈
3.與音速的關係

附錄 II 氣體分子的平均自由徑
1.氣體分子相碰撞時的平均自由徑
2.平均自由徑與分子直徑的關係
3.的真正涵義

附錄 III 碰撞內壁的氣體分子數

索引