半導體製造技術 (Semiconductor Manufacturing Technology)
Michael Quirk , Julian Serda 著 劉文超 等校閱 羅文雄 , 蔡榮輝 , 鄭岫盈 譯
- 出版商: 滄海
- 出版日期: 2003-06-29
- 定價: $780
- 售價: 9.8 折 $764
- 語言: 繁體中文
- 頁數: 776
- ISBN: 9867727703
- ISBN-13: 9789867727701
-
相關分類:
半導體
- 此書翻譯自: Semiconductor Manufacturing Technology (IE-Paperback)
立即出貨 (庫存 < 7)
買這商品的人也買了...
-
C++ Primer, 3/e 中文版$980$774 -
Sun Certified Programmer & Developer for Java 2 Study Guide, 2/e$1,790$1,701 -
ASP.NET 程式設計徹底研究$590$466 -
Building Embedded Linux Systems$1,610$1,530 -
鳥哥的 Linux 私房菜─基礎學習篇增訂版$560$476 -
Linux 驅動程式 (Linux Device Drivers, 2/e)$880$695 -
$1,058Semiconductor Manufacturing Technology (IE-Paperback) -
人月神話：軟體專案管理之道 (20 週年紀念版)(The Mythical Man-Month: Essays on Software Engineering, Anniversary Edition, 2/e)$480$379 -
3D 遊戲程式設計入門─使用 DirectX 9.0 實作 (Introduction to 3D Game Programming with Directx 9.0)$490$382 -
建構嵌入式 Linux 系統$780$616 -
$675LPIC 1 Exam Cram 2: Linux Professional Institute Certification Exams 101 and 102 (Paperback) -
PHP 5 與 MySQL 動態網頁實務$550$468 -
深入淺出設計模式 (Head First Design Patterns)$880$695 -
作業系統原理 (Silberschatz: Operating System Principles, 7/e)
$780$741 -
鳥哥的 Linux 私房菜基礎學習篇, 2/e$780$663 -
ASP.NET 2.0 深度剖析範例集$650$507 -
Linux 驅動程式, 3/e (Linux Device Drivers, 3/e)$980$774 -
Linux 核心詳解, 3/e (Understanding the Linux Kernel, 3/e)$1,200$948 -
現代嵌入式系統開發專案實務－菜鳥成長日誌與專案經理的私房菜$600$480 -
新觀念 Microsoft Visual Basic 2008 程式設計$550$468 -
新思維系列 2 ─ Visual C# 程式設計$560$442 -
半導體物理與元件 (Neamen: Semiconductor Physics and Devices: Basic Principles, 4/e)$960$912 -
半導體元件物理與製作技術, 3/e (Semiconductor Devices Physics and Technology, 3/e)$900$855 -
半導體製程概論 (Sze & May: Fundamentals of Semiconductor Fabrication)(增訂版)$600$570 -
半導體製程技術導論, 4/e$950$855
商品描述
本書特色
●對於半導體製造技術從晶圓準備、次微米製程及封裝測試方面 皆做完整詳盡的介紹。 ●最淺顯易懂的字詞揭示出原文書之精湛內容。 ●對大專在學學生及實際線上工程師而言，皆是一本優良的課程 教材及技術入門手冊。 校閱者簡介
劉文超 學歷 國立成功大學電機工程研究所博士 現職 國立成功大學電機工程系教授 國立成功大學微電子研究所教授 許渭州 學歷 國立成功大學電機工程研究所博士 現職 國立成功大學電機工程系微電子所所長 國立成功大學電機工程系教授 國立成功大學微電子研究所教授 譯者簡介
羅文雄 學歷 國立成功大學電機工程研究所博士 現職 國立臺灣海洋大學電機工程系教授 蔡榮輝 學歷 國立成功大學電機工程研究所博士 現職 國立高雄師範大學物理系副教授 鄭岫盈 學歷 國立成功大學電機工程研究所博士 現職 亞東技術學院電機工程系助理教授
本書目錄
第1章
半導體工業簡介
第2章
半導體材料特性
第3章
元件技術
第4章
矽與晶圓準備
第5章
半導體製造之化學特性
第6章
半導體製造廠之污染控制
第7章
量測與缺陷
第8章
製程反應室之氣體控制
第9章
IC製造概述
第10章
氧化
第11章
沈積
第12章
金屬化
第13章
微影：氣相塗底至軟烤
第14章
微影：對準與曝光
第15章
微影：光阻顯影與先進雕像
第16章
蝕刻
第17章
離子植入
第18章
化學機械平坦化
第19章
晶圓測試
第20章
裝配與封裝
附錄A
化學品及其安全性
附錄B
無塵室中的污染控制
附錄C
單位
附錄D
以氧化物厚度為函數的顏色
附錄E
光阻化學品概論
附錄F
蝕刻化學品
