圖解入門 — 半導體製造設備基礎與構造精講, 3/e

本書以簡潔明瞭的結構向讀者展現了半導體製造工藝中使用的設備基礎和構造。
全書涵蓋了半導體製造設備的現狀以及展望，同時也對清洗和乾燥設備、離子註入設備、
熱處理設備、光刻設備、蝕刻設備、成膜設備、平坦化設備、監測和分析設備、後段製程設備等逐章進行解說。
雖然包含了很多生澀的詞彙，但難能可貴的是全書提供了豐富的圖片和表格，幫助讀者進行理解。
 相信本書一定能帶領讀者進入一個半導體製造設備的立體世界。

本書適合從事半導體與芯片加工、設計的從業者，以及準備涉足上述領域的上班族和學生閱讀參考。