買這商品的人也買了...
-
$620$490 -
$620$490 -
$580$493 -
$780$663 -
$980$774 -
$480$408 -
$780$616 -
$650$507 -
$1,200$948 -
$620$490 -
$880$695 -
$550$468 -
$600$480 -
$720$612 -
$580$458 -
$490$382 -
$650$553 -
$980$774 -
$450$351 -
$490$387 -
$740$629 -
$420$328 -
$680$578 -
$590$460 -
$690$587
商品描述
本書特色
本書為半導體製造技術的介紹,包括從晶體成長到形成積體元件與電路的製造過程中,所有主要步驟的理論與實作層面的重點。本書適合作為物理、化學、電機工程、化學工程、和材料科學等系所之大四或碩一階段,一學期課程介紹積體電路製造技術課本教材。此書亦可配合學校的實驗室進行相關實作教學。此外,本書也適合當作為半導體產業界工程師與科學家的參考資料。
本書內容
第一章 簡 介
第二章 晶體成長
第三章 矽氧化
第四章 微 影
第五章 蝕 刻
第六章 擴 散
第七章 離子佈植
第八章 薄膜沉積
第九章 製程整合
第十章 積體電路製造
第十一章 未來趨勢與挑戰
附錄
索引