微機電元件 (Microsensors MEMS and Smart Devices)

溫榮弘

  • 出版商: CS滄海
  • 出版日期: 2005-05-05
  • 定價: $580
  • 售價: $580
  • 貴賓價: 9.7$563
  • 語言: 繁體中文
  • 頁數: 566
  • ISBN: 9867287029
  • ISBN-13: 9789867287021
  • 相關分類: Sensor 感測器

立即出貨 (庫存=1)

買這商品的人也買了...

商品描述

本書特色
 
  
  微機電系統是基於整合微電子電路(IC)與機械、光學、生化、高頻、流體等跨領域的系統技術(SoC),其可能包含致動器、感測器、訊號處理電路等諸多功能於一體,而成為智慧元件(Intelligent Device)。隨著奈米及生醫技術逐漸成為今日科技焦點,微機電元件扮演了強勁推手的角色,我們也期待其能創造如半導體IC產業般的龐大商機。
 
  本書可作為大學部高年級生,研究所學生教科書,對於相關產業界有興趣的工程人員作為參考材料也相當適合。除了對基本微電子技術有所介紹,在體型微加工、面型微加工、立體微影等微機電元件標準製作技術也有相當深入的最新技術討論。特別是作者以 IDT 元件為例,詳盡說明聲波元件的各種理論、效應、量測與微感測器的製作及應用等,最後加入電子電路的高度整合,可以發展成智慧型微機電系統,其中扮演關鍵角色的即是所謂微系統元件。特別在如本書作者專精的生醫應用領域,如人工鼻等,搭配高分子材料的微機電技術發展已被證明是最適合的基礎元件。譯者相當看好生醫及高頻等跨領域技術整合的未來發展,本書無疑是通往此路的最佳領航員,希望大家好好研讀「微機電元件」一書。
 
 
譯者簡介
  
溫榮弘 
學歷 清華大學微機電系統工程博士生
 
   中原大學電子工程研究所碩士
 
現任 Analog Intergrations Corporation IC 設計研發主管
 
曾任 Antek Semiconductor Corporation 技術開發及元件設計主管
 
   中原大學推廣中心教授半導體科技管理、類比IC設計等
 
   行政院原委會核能研究所
 
譯作 微系統設計、微系統技術、微機電元件、微光機電系統、
 
   微機電系統技術入門、C/C++的VLSI設計、
 
   無線通訊技術與RFID、功率MOSFET應用技術
 
 
  
 本書目錄
 
  
1 導論
 
2 電子材料與製程 
3 MEMS材料和它們的製備 
4 標準微電子技術 
5 矽微加工:體型  
6 矽微加工:面型 
7 MEMS的微立體微影 
8 微感測器 
9 SAW元件導論 
10 固體中的表面聲波 
11 IDT微感測器參數量測 
12 IDT微感測器製作 
13 IDT微感測器 
14 MEMS-IDT微感測器 
15 聰明感測器和微機電系統